PICOPROBE® Modelle 7/7A | Koaxiale Mikro-Prüfspitze

Koaxiale Mikro-Prüfspitze für DC bis 500 MHz, IC-Tests und On-Wafer-Probing

Die PICOPROBE® Modelle 7/7A von GGB Industries sind koaxiale Mikro-Prüfspitzen für präzise Kontaktierungen an integrierten Schaltungen, Wafern und Teststrukturen. Sie wurden als ergänzende Prüfspitze zu den PICOPROBE® Modellen 12C und 18C entwickelt, um IC-Leitungen gezielt anzusteuern und die Reaktion benachbarter Knoten mit geeigneten Messproben auszuwerten.
Die Prüfspitze eignet sich für Anwendungen in der Halbleiterentwicklung, IC-Charakterisierung, Fehleranalyse, Forschung, Ausbildung und industriellen Prüftechnik. Sie lassen sich auf Micropositionern montieren und in bestehende Wafer-Probing-Systeme integrieren.

Modell 7 für kontrollierte Signalzuführung, stabile Signale und reduzierte Kopplung

Das PICOPROBE® Model 7 besteht aus einem flexiblen, ca. 2 m langen 50-Ω-Koaxialkabel, das präzise mit 50 Ω abgeschlossen ist. Dadurch werden unerwünschte Reflexionen im Messaufbau reduziert, insbesondere bei der Signalzuführung an IC-Leitungen und Testknoten.
Ein spezieller Miniaturanschluss nimmt austauschbare koaxiale Prüfspitzen auf. Diese führen die Abschirmung bis auf 3 mm an die feine Wolframspitze heran und minimieren dadurch kapazitive Kopplungen zu benachbarten Schaltungsbereichen. Die Prüfspitzen sind in verschiedenen Spitzendurchmessern erhältlich und können geometrisch an unterschiedliche Probing-Aufgaben angepasst werden.

Modell 7A: Hochohmige Ausführung für Kapazitäts-, Widerstands- und langsamere Signalanwendungen

Das PICOPROBE® Modell 7A ist die hochohmige Ausführung des Modell 7. Es eignet sich für Kapazitätsmessungen, Widerstandsmessungen sowie für Signalapplikationen mit niedriger bis mittlerer Geschwindigkeit, bei denen keine 50-Ω-Anpassung erforderlich ist.
Das Modell 7A wird standardmäßig mit einem flexiblen 2 m-Koaxialkabel geliefert. Für Kapazitätsmessungen empfiehlt GGB Industries die kürzere 1 m-Ausführung. Die austauschbaren Prüfspitzen sind identisch mit denen des Modells 7.

Austauschbare Wolfram-Prüfspitzen für Wafer-Pads, IC-Leitungen und Teststrukturen

Für die PICOPROBE® Modelle 7/7A sind austauschbare Wolfram-Prüfspitzen mit verschiedenen Drahtdurchmessern von 5 µm bis 175 µm erhältlich. Je nach Spitzenausführung liegen die Spitzenradien im Bereich von < 0,1 µm bis < 5 µm.
Welche Prüfspitze geeignet ist, hängt von der jeweiligen Kontaktstelle ab: Kleine Drahtdurchmesser und sehr feine Spitzenradien eignen sich für schmale IC-Leitungen, kleine Wafer-Pads und eng benachbarte Testpunkte. Größere Drahtdurchmesser sind sinnvoll, wenn größere Pads, Bondflächen oder breitere Teststrukturen kontaktiert werden.
Durch die Abstimmung von Drahtdurchmesser, Spitzenradius und Padgröße lässt sich der Kontaktpunkt auf der Padfläche genauer positionieren. Das reduziert Messabweichungen, die durch wechselnde Aufsetzpositionen, unterschiedliche Kontaktflächen oder variierende Kontaktwiderstände entstehen können.

Hochtemperatur-Prüfspitzen für Messungen bis 200 °C

Für Messungen bis 200 °C sind die PICOPROBE® Model 7 und Model 7A mit speziellen HT-Prüfspitzen erhältlich. Dabei bleibt die technische Grundausführung gleich. Die Temperaturerweiterung erfolgt über die passenden temperaturbeständigen Prüfspitzen.
Damit lassen sich sehr gut Wafer-Pads, IC-Leitungen und Teststrukturen direkt bei Prüftemperatur kontaktieren – etwa auf einem beheizten Wafer-Chuck, dem temperierten Aufnahmetisch eines Wafer-Probers.

Welche PICOPROBE® 7/7A-Ausführung passt zu Ihrem Messaufbau?

Sie sind sich nicht sicher, welche Ausführung zu Ihrem Messaufbau passt? Entscheidend sind vor allem Messart, Padgröße, Kabellänge, Prüftemperatur und die vorhandene Probing-Umgebung.
Wir gleichen Ihre Prüfanforderungen mit den verfügbaren Modellen ab und unterstützen Sie bei der Auswahl der passenden Konfiguration – von der passenden Prüfspitze bis zur geeigneten Kabellänge.