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Aktive Prüfspitzen/Probes aus Wolframdraht für MOS-On-Wafer-Messungen bis 1 GHz

PICOPROBE Modelle 28/29: Wafer-Probes für schnelle MOS-Signale

Die aktiven Prüfspitzen der PICOPROBE® Modelle 28/29 führen Signale von Kontaktpunkten auf Wafern und integrierten MOS-Schaltungen an einen 50-Ohm-Oszilloskopeingang. Die aktiven Probes arbeiten mit 20:1-Abschwächung und einem Übertragungsbereich von DC bis 1 GHz (-3 dB). Mit einer 0,04 pF Eingangskapazität und 10 fA Eingangsleckage belasten sie kleine Messknoten nur gering.

Kontaktpunkt mit niedriger Eingangskapazität abtasten

Bei kleinen MOS-Strukturen verändert jede zusätzliche Kapazität das Signal am Messpunkt. Die niedrige Eingangskapazität begrenzt diese Zusatzlast; die Prüfspitze erfasst schnelle Pulse mit 350 ps Anstiegs- und Abfallzeit zum Oszilloskop. Wenn Sie aktive Prüfspitzen/Probes mit anderer Geometrie benötigen, sind die PICOPROBE® Modelle 7/7A eine Alternative.

Modell 28 oder Modell 29 nach Spannungslage auswählen

Die Spannung am Kontaktpunkt entscheidet über das passende Modell: Modell 28 arbeitet im Betriebsbereich von 0 V bis +9 V, das Modell 29 im Betriebsbereich von -7 V bis +2 V. Beide Modelle geben das Signal mit ±3 % Verstärkungsgenauigkeit an den 50-Ohm-Eingang weiter.

Probe-Geometrie, Drahtdurchmesser und Ersatzspitze festlegen

Die passende Probe-Geometrie richtet sich nach Ihrem Wafer-Messplatz, dem eingesetzten Positionierer und dem jeweiligen Aufbau. Für Sonderaufbauten stimmen wir die Ausführung individuell ab. Die Wahl der Drahtdurchmessers richtet sich nach Kontaktfläche und Aufsetzverhalten: Der Wolframdraht mit Durchmesser von 10 µm oder 20 µm gibt beim Kontaktieren nach und hält die Spitze auch bei leichten Tischbewegungen am Messpunkt. Der Wolframdraht mit 50 µm Durchmesser bietet eine höhere Steifigkeit und eignet sich dadurch für Messaufbauten mit größerem Andruck. Für passive HF- und Mikrowellenkontaktierungen bietet die PICOPROBE® Modell-10-Serie eine 50-Ω-Alternative zu den aktiven Hochimpedanz-Probes der Modelle 28/29. Passende Probe mit LXinstruments klären

Alternative Produkte

Wenn Sie besonders empfindliche MOS-Knoten mit noch geringerer Eingangskapazität messen, empfehlen wir die PICOPROBE Modelle 18C/19C mit 0,02 pF – bei einem niedrigeren Frequenzbereich bis 350 MHz. Benötigen Sie stattdessen eine passive 50-Ω-Prüfspitze für breitbandige HF- und Mikrowellenmessungen, ist die PICOPROBE Modell-10-Serie mit einem Frequenzbereich bis 11 GHz die passende Alternative.

Passende Produktbereiche

Prüfspitzen / Probes

Sie möchten Modell, Probe-Geometrie und Spitze vor der Bestellung abgleichen?

Senden Sie uns die Spannungslage am Kontaktpunkt, den geplanten Oszilloskopeingang und Angaben zu Ihrem Wafer-Messplatz über das Kontaktformular. Auf Grundlage Ihres Aufbaus bestimmen wir die geeignete Konfiguration und empfehlen Ihnen eine Ausführung mit den passenden Komponenten.

Spezifikationen

Eingangskapazität 0,04 pF
Eingangsleckage 10 fA
Frequenzbereich DC bis 1 GHz (-3 dB)
Verstärkungsgenauigkeit ± 3 %
Signalabschwächung 1 bei 50-Ohm-Eingang

Anstiegs-/Abfallzeit: 350 ps:

Modell 28 bei einem Puls bis +5 V
Modell 29 bei einem Puls bis ±2,5 V

Betriebsbereich:

Modell 28 0 V bis +9 V
Modell 29 -7 V bis +2 V

Linearität:

Modell 28 0,5 % im Bereich 0 V bis +4 V; 2,0 % im Bereich 0 V bis +9 V
Modell 29 0,5 % im Bereich -2 V bis +2 V; 2,0 % im Bereich -7 V bis +2 V

Optionen & Zubehör

Auswechselbare Prüfspitzen - Bestellvarianten aus Draht- und Spitzendurchmesser (für beide Modelle):

28-5-5 Drahtdurchmesser 5 µm, Spitzendurchmesser < 0,1 µm
28-5-10 Drahtdurchmesser 10 µm, Spitzendurchmesser < 0,1 µm
28-5-20 Drahtdurchmesser 35 µm, Spitzendurchmesser < 1,0 µm
28-5-50 Drahtdurchmesser 50 µm, Spitzendurchmesser < 3,0 µm

PICOPROBE® Standard-Netzteilausführung:

110 V
230 V

Lieferumfang

PICOPROBE® Modell 28/29, Prüfspitze mit Wolframdraht – je nach Konfiguration
Netzteil – je nach Konfiguration

Anwendungen

On-Wafer-Messungen an MOS-Schaltungen
Analyse schneller MOS-Signale bis 1 GHz
Messungen an kapazitätsempfindlichen Messknoten
IC-Entwicklung, Prototyping und Verifikation
Kontaktierung feiner Strukturen auf Wafer-Ebene
Signalprüfung und Fehlersuche im Laboraufbau

Links & Downloads

Hersteller

GGB Industries, der Erfinder der Picoprobe®-Produktlinie von Mikrowellen- und Oszilloskop-Tastköpfen, liefert bereits seit 1980 Messköpfe für On-wafer Messungen für die Halbleiterindustrie, beginnend mit einer Reihe hochohmiger Sonden für die Fehlersuche bei der Diagnose der internen Funktionsweise komplexer Logik- und Speicherchips. Seitdem hat GGB eine beeindruckende Anzahl an neuen, patentierten Lösungen entwickelt. Man kann also mit Fug und Recht behaupten, dass GGBs Stärken insbesondere handwerkliches Können, Präzision, Kundendienst und Problemlösung sind.

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